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Q. pattern 축소 원인이 궁금합니다.
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실습 참여해서 MOSCAP 소자를 만들었습니다. Sub에 Al2O3 증착하고 Photo 공정 후 Al 증착하고 lift off를 통해서 패턴을 만들었는데요 실제 target 패턴 size 본다 10~20% 작은 패턴이 만들어졌습니다. 공정상에 어떤 이유로 패턴 사이즉가 감소했을까여? 참고로 Postive PR 사용하고 증착은 sputter, PR과 Al 두께 차이는 14배 정도 차이가 있었습니다.
2024.11.22
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